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中文名称: 四探针测试仪

英文名称: Four-Point Probes

仪器型号: RTS-8

生产厂家: 广州四探针电子科技有限公司

放置位置: 材料科学与工程实验中心

设备管理员 林敏

联系方式 13210012656


功能介绍

四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备,该仪器按照单晶硅物理测试方法,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

主要技术参数

1、测量范围:电阻率:10-5105 Ω.cm  

2、方块电阻:10-4106 Ω/□

3、电导率:10-5105s/cm

4、电阻:10-5105 Ω

5、可测晶片直径:140mmX150mm

6、恒流源:电流量程分为1μA10μA100μA1mA10mA100mA六档,各档电流连续可调。

7、数字电压表:量程及表示形式000.00199.99 mV

8、分辨力:10μV

9、输入阻抗>1000MΩ

10、精度:±0.1%

11、显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示。