中文名称： 四探针测试仪

英文名称： Four-Point Probes

仪器型号： RTS-8

生产厂家： 广州四探针电子科技有限公司

放置位置： 材料科学与工程实验中心

设备管理员 林敏

联系方式 13210012656

功能介绍

四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备，该仪器按照单晶硅物理测试方法，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

主要技术参数

1、测量范围：电阻率：10-5～105 Ω.cm  

2、方块电阻：10-4～106 Ω/□

3、电导率：10-5～105s/cm

4、电阻：10-5～105 Ω

5、可测晶片直径：140mmX150mm

6、恒流源：电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调。

7、数字电压表：量程及表示形式000.00～199.99 mV

8、分辨力：10μV

9、输入阻抗＞1000MΩ

10、精度：±0.1%

11、显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示。