中文名称： 等离子清洗机
英文名称： Plasma cleaning machine
仪器型号： PDC-002-HP
生产厂家： Harrick Plasma Inc
放置位置： 材料科学与工程实验中心
设备管理员 随欣
联系方式 18813165381
功能介绍
等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。
主要技术参数
POS. 项目号
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QTY. 数量 |
PART # 部件名称 |
DESCRIPTION 描述 |
1
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1
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等离子清洗机 Plasma Cleaner |
PDC-002 圆柱形真空腔,内径152.4mm,长度165mm,容积3升,半自动控制 |
2
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1
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无油真空泵系统 Vacuum Pump |
IDP-3 支持各类活性气体的等离子体清洗处理
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3
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1
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真空实时监视单元 Vacuum Monitor Unit |
可以实时显示处理腔体内的真空值，有助于提高样品处理的可重复性。
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4
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1
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电源线
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AC电源线 |
5
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1
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说明书 |
产品说明书 |
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