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中文名称: 等离子清洗机

英文名称: Plasma cleaning machine

仪器型号: PDC-002-HP

生产厂家: Harrick Plasma Inc

放置位置: 材料科学与工程实验中心

设备管理员 随欣

联系方式 18813165381


功能介绍

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的活性组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

主要技术参数

POS.

    项目号

   QTY.

     数量

PART #

   部件名称

DESCRIPTION

        描述
1
1

等离子清洗机

Plasma Cleaner

PDC-002 圆柱形真空腔,内径152.4mm,长度165mm,容积3,半自动控制
2
1

无油真空泵系统

Vacuum Pump

IDP-3 支持各类活性气体的等离子体清洗处理
3
1

真空实时监视单元

Vacuum Monitor Unit

可以实时显示处理腔体内的真空值,有助于提高样品处理的可重复性。
4
1
电源线
AC电源线
5
1
说明书 产品说明书